| 型号 | 测量范围 | 精度 | 分辨率 | 测力 | 重复性 |
|---|---|---|---|---|---|
| ISQ-KLM120 | 外尺寸: 0~165mm, 内尺寸: 1~140mm | 内尺寸: ±0.15µm+10⁻⁶×L, 外尺寸: ±0.08µm+10⁻⁶×L, L为测量长度(单位m) | 0.01µm, 0.1µm, 1µm | 0.5~1N | 内尺寸: <0.1µm, 外尺寸: <0.2µm |
| 型号 | 测量范围 | 精度 | 分辨率 | 测力 | 重复性 |
|---|---|---|---|---|---|
| ISQ-KLM120 | 外尺寸: 0~165mm, 内尺寸: 1~140mm | 内尺寸: ±0.15µm+10⁻⁶×L, 外尺寸: ±0.08µm+10⁻⁶×L, L为测量长度(单位m) | 0.01µm, 0.1µm, 1µm | 0.5~1N | 内尺寸: <0.1µm, 外尺寸: <0.2µm |