光谱椭偏仪
Code: BSE-A550
符合JJF椭偏仪国家计量校准规范
适用于科研, 半导体, 光伏, 光学镀膜, 显示面板等领域
基于双旋转补偿器调制技术一次性获取Psi(Ψ)/Delta(Δ)、N/C/S等光谱，可实现基底上单层到多层微纳薄膜膜厚及光学特性的快速分析
用于测量衬底以及膜层的厚度d, 折射率n, 消光系数k, 介电常数ε等参数
包含数百种材料数据库、多种算法模型
| Code | Range | Accuracy | Repeatability |
|---|---|---|---|
| BSE-A550 | Film thickness:1~1000nm | Film thickness:<0.5nm | Film thickness:better than 0.02nm |
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