| 型号 | 精度 | 磁力 | 圆度 |
|---|---|---|---|
| ISQ-16-025CE-M6 | +1.25µm/-1µm | —— | 0.13µm |
| ISQ-16-025CE-M8 | +1.25µm/-1µm | —— | 0.13µm |
| ISQ-16-025CE-M10 | +1.25µm/-1µm | —— | 0.13µm |
| ISQ-16-025CE-M12 | +1.25µm/-1µm | —— | 0.13µm |
| ISQ-16-BASE-M6 | +1.25µm/-1µm | 80Kgf | 0.13µm |
| ISQ-16-BASE-M8 | +1.25µm/-1µm | 80Kgf | 0.13µm |
| ISQ-16-BASE-M10 | +1.25µm/-1µm | 80Kgf | 0.13µm |
| ISQ-16-BASE-M12 | +1.25µm/-1µm | 80Kgf | 0.13µm |




