| 型号 | 测针各向触发保护行程 | 触发力 | 触发精度 |
|---|---|---|---|
| 9426-1 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-2 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-3 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-4 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 型号 | 测针各向触发保护行程 | 触发力 | 触发精度 |
|---|---|---|---|
| 9426-1 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-2 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-3 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |
| 9426-4 | XY轴行程: ±12°, Z轴行程: 5mm | XY轴: <1.6N, Z轴: <9.8N | 1μm |