| 型号 | 测量范围 | 精度 | 分辨率 | 类型 | 寻边器 | 投影屏直径 | 图像 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISP-T800C | 300×200mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø800mm | 反像 |
| ISP-T1200C | 400×250mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø1200mm | 反像 |
| ISP-T1500C | 400×250mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø1500mm | 反像 |
| 型号 | 测量范围 | 精度 | 分辨率 | 类型 | 寻边器 | 投影屏直径 | 图像 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ISP-T800C | 300×200mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø800mm | 反像 |
| ISP-T1200C | 400×250mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø1200mm | 反像 |
| ISP-T1500C | 400×250mm | (4+L/50)µm | 1µm | 卧式 | 不配 | Ø1500mm | 反像 |