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技术参数

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型号 目镜 X/Y轴行程 Z轴移动行程 X/Y轴精度 X/Y/Z轴分辨率
ISD-VMM205C 双目镜 150×100mm 150mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM215C 双目镜 200×100mm 150mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM225C 双目镜 250×150mm 200mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM235C 双目镜 300×200mm 200mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM205DC 单目镜 150×100mm 150mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM215DC 单目镜 200×100mm 150mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM225DC 单目镜 250×150mm 200mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm
ISD-VMM235DC 单目镜 300×200mm 200mm ≤(3.5+L/100)μm 0.5μm

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